臭氧流量計(jì)的作用是什么？流量計(jì)就是通過流量計(jì)測量臭氧介質(zhì)（氣體）的流量以達(dá)到過程控制。所以一個流量計(jì)的精度準(zhǔn)確，顯示穩(wěn)定是一個對流量計(jì)很重要的問題。流量計(jì)顯示不穩(wěn)定的因素會有多種情況，需要確認(rèn)是顯示儀的問題還是控制器的問題。
一、顯示儀問題
可以將顯示儀單獨(dú)檢測，將設(shè)定及流量檢測短接，調(diào)節(jié)設(shè)定旋鈕觀察是否跳動。
二、流量計(jì)問題
若能排除顯示儀問題則很可能是實(shí)際流量控制不穩(wěn)或者流量控制器問題。需要排除周圍是否存在干擾：
1.可能為空間干擾，可采用適當(dāng)屏蔽，遠(yuǎn)離干擾源，選用屏蔽線的方法。
2.可能為地線干擾，檢查接地系統(tǒng)，注意一點(diǎn)接地；
3.可能為氣源內(nèi)阻過大，需要降低氣源內(nèi)阻(大流量時要注意開大閥門，加粗管道，以至并聯(lián)氣瓶，提高氣源供氣能力)。
4.可能為氣源壓強(qiáng)太低或不穩(wěn)，需要提高氣源氣壓，穩(wěn)定氣源壓強(qiáng)。
5.可能為氣體性質(zhì)不同，使用空氣標(biāo)定同分子量較重的氣體時也可能出現(xiàn)控制不穩(wěn)定現(xiàn)象。
6.可能為污染，如氣源有粉塵，容易液化等應(yīng)在通道前加裝過濾器或者適當(dāng)加溫。若使用硅烷等特殊氣體，應(yīng)注意管路的密封性和氣源干燥 。
7.可能為電路或調(diào)節(jié)閥故障，需要回廠檢修。

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